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本篇文章是由上海金科過濾器材有限公司給大家講解下為什么半導(dǎo)體無塵室有黃光區(qū)
關(guān)于半導(dǎo)體制造,我們常常聽到“黃光”、“黃光制程”、“黃光區(qū)”的說法。
黃光區(qū)到底是什么意思?下面用兩張圖來說明:
是指黃色燈照明!波長約570納米到590納米的黃色燈。
原因是:光刻膠的感光范圍通常位于13.5nm-500nm,這意味著在這個范圍內(nèi)的光線可以引發(fā)光刻膠的化學(xué)反應(yīng)。而剛好黃光遠離這些波長!
目前半導(dǎo)體用光刻膠,主要分為5個種類:g線光刻膠,i線光刻膠,KrF光刻膠,ArF光刻膠和EUV光刻膠。
另外:
黃光比白光或其他顏色的光更柔和,因此它不太可能在設(shè)備或晶圓的表面產(chǎn)生刺眼的反射或眩光。
使用黃光可以確保在光刻過程中,顏色敏感的化學(xué)品或其他材料的顏色不會受到其他光源的影響或失真。
相對于其他光源,黃光對人眼更為友好,尤其是在長時間的操作下,減少眼睛的疲勞和刺激。
以上就是上海金科對為什么半導(dǎo)體無塵室有黃光區(qū)詳解希望可以幫助到大家。上海金科過濾器材有限公司是國內(nèi)微孔膜過濾行業(yè)率領(lǐng)者。是1990年由國家醫(yī)藥管理局立項,經(jīng)國家計委批準,從美國格爾曼科學(xué)公司(Gelman
Sciences Inc)全套引進世界先進的微孔膜過濾器制造技術(shù)和生產(chǎn)設(shè)備及質(zhì)量檢測儀器進行生產(chǎn)制造及檢驗的高新企業(yè)。
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